ASML光刻小讲堂电子束量测中的透视眼 电压衬度检测
咱们ASML全景光刻铁三角中最后的一角电子束量测与检测在光刻小讲堂中正式开讲，上一期跟大家一同了解了电子束量测与检测在芯片产线上作为质检员眼睛的角色，如何助力ASML全景光刻处置方案，这次让咱们来进一步关上大门探求一下电子束检测中的，透视眼......
电子束
电子束简介电子在电场中会受力而失掉减速、提高能量，发生电子束，一台电子减速器，注入的电子能量为20GeV，1GeV=109eV，也就是10亿电子伏特，，相应的电子速度为0.99999999979倍光速，电子经减速器减速后，能量可到达100G......
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